第526章 咱們工人有力量
第526章 咱們工人有力量
工件台又一次加熱矽片，給工件做了一次堅膜，加固已經保留的光刻膠，進一步清除不需要的那部分膠以及其他成分的殘留物。
堅膜完成之後，矽片被再次從頭開始，開始了第二次的光刻流程，用的還是那塊標準掩模。
顯影完成後，二次光刻的光刻膠被固化，多餘部分被清除，矽片被送到了顯微鏡下。
剛剛把矽片表面的清晰顯微圖像跳出來，馬娟就語帶欣喜的啊了一聲。
「師兄，有了有了，能看出來，精度好高啊！」
馬娟一邊瞄著顯微鏡，一邊嘴裡喊著。
對於套刻精度高這一點，高振東是有所預計的，決定套刻精度的主要就是工件台，而三軋廠的一幫老師傅大發神威，將工件台的定位精度搞到了1.5μm。
而東北光學所的光學系統圖形畸變只有1個μm不到，這兩者結合起來，套刻精度絕對差不了。
不過估計歸估計，在沒看到真正結果那一天，誰都不敢徹底把心放下來。
聽見馬娟的話，高振東哈哈大笑：「來來來，我看看。」
馬娟從顯微鏡下讓開，高振東把眼睛湊到顯微鏡的目鏡外，顯微鏡里甚至能看到他自己的眼睫毛，但他現在明顯沒有閒心觀察自己的睫毛是否好看，急著往視場裡看去。
顯微鏡里，兩次光刻的痕跡非常明顯，一條迭在另一條上面，重合度非常高。
兩次光刻的痕跡，兩邊各露出來一小部分，這部分的單邊寬度，基本上就是套刻誤差了，粗粗看去，目測連整個線寬的一小半都不到。
「好！太好了！馬娟，你們選取一些典型點位，要覆蓋到整個矽片，馬上做個比較全面的測量比較。」
另外一個試驗人員走了上來，和馬娟一起，一邊找點，一邊測量，一邊記錄。
時間的相對論在這裡體現得淋漓盡致，馬娟她們覺得時間過得很快，而等結果的高振東等人覺得時間過得太慢了。
又快又慢的一段時間過去後，試驗人員在計算機面前坐下來，開始將數據輸入計算機，這種簡單統計分析，他們都是直接在原始碼里敲數據。
處理算法的C代碼早就寫好了，現在他們就是在往一個數組裡填數據而已。
這種辦法，好就好在處理算法可以隨時根據需要修改。
鍵盤聲啪啪作響，現場人員的心情反而安定下來，從剛才他們測量中報的數來看，這個結果差不了。
隨著最後一個數據輸入完畢，馬娟啟動了編譯-運行指令。
算法過於簡單，沒有帶來任何調試上的麻煩，很快，屏幕上就跳出了一個數字。
編過臨時程序的人都懂，怎麼簡單怎麼來，這個數字甚至不帶任何單位。
「1.97」。
其實小數點後一位就夠了，那個沒有寫出來的單位，是μm。
2μm！
雖然早有所料，但是當這個數字跳出來的時候，高振東還是哈哈大笑了起來。
「哈哈哈……好！太好了！」
這個套刻精度，已經超出了當前所需，PMOS套刻次數少，其實不嚴格的說，10μm的解析度下，5μm的套刻精度都是夠用的。
現在，高振東可以直接宣布，我們的第一代PMOS工藝集成電路，線寬是10μm。
這個線寬聽起來不咋樣，但是舉個例子就知道它的用處了，DJS-59的原型，那片金色的C8008，它的工藝就是10μm-PMOS！那一小片晶片上，電晶體數量是6000+。
而首個4Kbit（512Byte）的DRAM，工藝是8μm-NMOS，雖然是NMOS，但是並不意味著只有NMOS才能用於DRAM。PMOS和NMOS的最大區別是開關方向相反，而且NMOS開關速度比PMOS要快2.5倍左右。
但是這是61年，PMOS慢點又不是不能用。
可惜那兩片晶片出現的時候，高振東還沒法鎖定兌換的能力，但是這沒有關係，還是那句話，行業初期，主打一個簡單湊合能用就行，設計的核心難度不大。
DJS-59的電晶體的電路，其實基本上和C8008內是一模一樣的，現在高振東要做的，就是把這個結構還原到光刻掩模上去。
不過這是個力氣活兒，高振東一個人是搞不成的，太浪費時間了，這個事情，可就落在京城工大這一屆的部分大四學生頭上了。
原本高振東的考慮是光刻機不敢太樂觀，初期預計是50μm左右，後來看到三軋廠的老師傅和東北光學所如此給力，才把SZ61XXX系列晶片頭三片改為了20μm。
現在扎紮實實的10μm有望，那不得樂死，就算得先教半年學生，再畫上個一年兩年的圖，那也是一個字兒——值！
而且有了這些基礎，能搞的事情，可就多了，比如自動化人的最愛——單片機。
不過不論是CPU化的DJS-59也好，還是單片機也好，都還需要時間，至少得等兩樣東西。
——集成電路工藝的真正成熟、晶片的完整設計。
尤其是單片機，這東西看起來和通用CPU差不多，但是在當前的運算速度之下，最好使用另外一個結構——哈佛結構。
相對馮.諾依曼結構來說，這個結構的效率更高一些。
這些都是後話，現在的當務之急，是把光刻機投入到集成電路工藝中去，儘快讓整條集成電路的工藝成熟，至少先生產出一定數量的基礎數字邏輯晶片，讓大家用起來。
別看這東西基本全手工，但是產量在這個年代來說並不低了，當然，和後世全自動光刻生產線沒得比。
按照一片邏輯電路晶片使用5mm*5mm矽片面積來粗略計算的話，一片130mm晶圓能生產出500枚晶片來。
別看5*5這個面積很小，實際上在10μm工藝下，它幾乎能生產類似74全系列的數字邏輯晶片了，大部分數字邏輯晶片最耗費矽片面積的部分，其實是它的線路引出的壓接點。
如果說CPU、單片機都還有那麼一點遙遠的話，那對於大部分常用數字邏輯電路來說，到了這個階段，制約它的就主要是晶片的設計速度有多快了，畢竟數字邏輯電路這個家族實在是有些龐大。
對於這個事情，高振東倒是早有安排。
穿著防護服，又在超淨室內，這讓高振東不太方便宣布樣機已經成功。
看著玻璃窗外焦急的全體光刻機課題組同志，不忍他們久等的高振東靈機一動，拿起紙筆，寫下了三個大字。
「成功了！」
高振東拿起這張紙，對著超淨室內和外面的所有同志打著轉展示了一圈。
如果說超淨室內的同志對於結果已有所預料而顯得鎮定一些的話，那窗外那批因為信息差而處於未知之中的同志，看見這三個字就歡呼雀躍起來。
「成了成了！」
「終於成功了！」
「這個東西很重要吧，你看高總工都那麼著緊。」
「那可不，我估計這個啊，至少又是一個科技獎。」
「沒想到我車了一輩子的鐵疙瘩，臨老來，還能搞科學了。」
「我也沒想到啊，叮叮咣咣了一輩子，到現在我都不相信這個東西裡面也有我的份兒。」
「你這就是心太小了，你沒聽上面說嘛，咱們有的是力量。」
「是是是，你心大，那特麼你手抖個啥？幾十年的老夥計了，誰還不知道誰啊。」
外面的同志們說著笑著，不知道是誰起的頭，慢慢的齊聲唱起了一首歌來。
「咱們工人有力量，嘿，咱們工人有力量……」
「……」
「改造得世界變呀麼變了樣，哎嘿！」
「……」
「為了求解放！哎~嘿！哎~嘿！」
「……」
歌聲中有男有女，有老有少，有拿鐵錘的，也有拿書本的，有的站在機器邊，有的身處電腦前……
簡潔明快，鏗鏘有力的歌聲在光刻機試製車間中響起，聲震四壁。
隨著最後一聲「嘿！」落下，所有的同志站在一起，看著高振東，熱烈鼓起掌來。
高振東滿臉喜色，等大家稍微安靜下來，他示意試驗人員關機收尾，走進隔間脫下防護服。
從超淨室中走出來後，高振東安排了一位同志去張羅吃飯的事情，規矩不能破，哪怕只能吃糠咽菜，也得聚一頓，更別說現在比吃糠咽菜可強多了。
然後他轉身對馬娟道：「馬娟，你繼續多做幾組試驗，看看穩定性怎麼樣。然後你和易師傅準備準備，這台設備接下來需要轉場，你們整個組除了做好轉場準備之外，還要做好準備，核心骨幹要到相關的兄弟廠去支援一段時間。」
接下來的事情，自然就是將設備遷移到1274廠去，在那裡，作為關鍵節點，直接融入到整套的集成電路工藝中。
在這個過程中，不論是製造、安裝、調試、使用的課題組骨幹成員，都得入駐1274廠，應對各種環境問題和突發狀況，一直要到光刻機在1274廠的同志們手上用熟練了，才能撤回來。
兩人點頭應是，高振東看向各位同志：「那啥，雖然大家都知道了，但我還是正式宣布一下吧，哈哈，GK-61接近式10μm光刻機，成功了！同志們辛苦了！現在先享受一下成功的喜悅吧，中午老規矩，老規矩，大家懂的。」
(本章完)
工件台又一次加熱矽片，給工件做了一次堅膜，加固已經保留的光刻膠，進一步清除不需要的那部分膠以及其他成分的殘留物。
堅膜完成之後，矽片被再次從頭開始，開始了第二次的光刻流程，用的還是那塊標準掩模。
顯影完成後，二次光刻的光刻膠被固化，多餘部分被清除，矽片被送到了顯微鏡下。
剛剛把矽片表面的清晰顯微圖像跳出來，馬娟就語帶欣喜的啊了一聲。
「師兄，有了有了，能看出來，精度好高啊！」
馬娟一邊瞄著顯微鏡，一邊嘴裡喊著。
對於套刻精度高這一點，高振東是有所預計的，決定套刻精度的主要就是工件台，而三軋廠的一幫老師傅大發神威，將工件台的定位精度搞到了1.5μm。
而東北光學所的光學系統圖形畸變只有1個μm不到，這兩者結合起來，套刻精度絕對差不了。
不過估計歸估計，在沒看到真正結果那一天，誰都不敢徹底把心放下來。
聽見馬娟的話，高振東哈哈大笑：「來來來，我看看。」
馬娟從顯微鏡下讓開，高振東把眼睛湊到顯微鏡的目鏡外，顯微鏡里甚至能看到他自己的眼睫毛，但他現在明顯沒有閒心觀察自己的睫毛是否好看，急著往視場裡看去。
顯微鏡里，兩次光刻的痕跡非常明顯，一條迭在另一條上面，重合度非常高。
兩次光刻的痕跡，兩邊各露出來一小部分，這部分的單邊寬度，基本上就是套刻誤差了，粗粗看去，目測連整個線寬的一小半都不到。
「好！太好了！馬娟，你們選取一些典型點位，要覆蓋到整個矽片，馬上做個比較全面的測量比較。」
另外一個試驗人員走了上來，和馬娟一起，一邊找點，一邊測量，一邊記錄。
時間的相對論在這裡體現得淋漓盡致，馬娟她們覺得時間過得很快，而等結果的高振東等人覺得時間過得太慢了。
又快又慢的一段時間過去後，試驗人員在計算機面前坐下來，開始將數據輸入計算機，這種簡單統計分析，他們都是直接在原始碼里敲數據。
處理算法的C代碼早就寫好了，現在他們就是在往一個數組裡填數據而已。
這種辦法，好就好在處理算法可以隨時根據需要修改。
鍵盤聲啪啪作響，現場人員的心情反而安定下來，從剛才他們測量中報的數來看，這個結果差不了。
隨著最後一個數據輸入完畢，馬娟啟動了編譯-運行指令。
算法過於簡單，沒有帶來任何調試上的麻煩，很快，屏幕上就跳出了一個數字。
編過臨時程序的人都懂，怎麼簡單怎麼來，這個數字甚至不帶任何單位。
「1.97」。
其實小數點後一位就夠了，那個沒有寫出來的單位，是μm。
2μm！
雖然早有所料，但是當這個數字跳出來的時候，高振東還是哈哈大笑了起來。
「哈哈哈……好！太好了！」
這個套刻精度，已經超出了當前所需，PMOS套刻次數少，其實不嚴格的說，10μm的解析度下，5μm的套刻精度都是夠用的。
現在，高振東可以直接宣布，我們的第一代PMOS工藝集成電路，線寬是10μm。
這個線寬聽起來不咋樣，但是舉個例子就知道它的用處了，DJS-59的原型，那片金色的C8008，它的工藝就是10μm-PMOS！那一小片晶片上，電晶體數量是6000+。
而首個4Kbit（512Byte）的DRAM，工藝是8μm-NMOS，雖然是NMOS，但是並不意味著只有NMOS才能用於DRAM。PMOS和NMOS的最大區別是開關方向相反，而且NMOS開關速度比PMOS要快2.5倍左右。
但是這是61年，PMOS慢點又不是不能用。
可惜那兩片晶片出現的時候，高振東還沒法鎖定兌換的能力，但是這沒有關係，還是那句話，行業初期，主打一個簡單湊合能用就行，設計的核心難度不大。
DJS-59的電晶體的電路，其實基本上和C8008內是一模一樣的，現在高振東要做的，就是把這個結構還原到光刻掩模上去。
不過這是個力氣活兒，高振東一個人是搞不成的，太浪費時間了，這個事情，可就落在京城工大這一屆的部分大四學生頭上了。
原本高振東的考慮是光刻機不敢太樂觀，初期預計是50μm左右，後來看到三軋廠的老師傅和東北光學所如此給力，才把SZ61XXX系列晶片頭三片改為了20μm。
現在扎紮實實的10μm有望，那不得樂死，就算得先教半年學生，再畫上個一年兩年的圖，那也是一個字兒——值！
而且有了這些基礎，能搞的事情，可就多了，比如自動化人的最愛——單片機。
不過不論是CPU化的DJS-59也好，還是單片機也好，都還需要時間，至少得等兩樣東西。
——集成電路工藝的真正成熟、晶片的完整設計。
尤其是單片機，這東西看起來和通用CPU差不多，但是在當前的運算速度之下，最好使用另外一個結構——哈佛結構。
相對馮.諾依曼結構來說，這個結構的效率更高一些。
這些都是後話，現在的當務之急，是把光刻機投入到集成電路工藝中去，儘快讓整條集成電路的工藝成熟，至少先生產出一定數量的基礎數字邏輯晶片，讓大家用起來。
別看這東西基本全手工，但是產量在這個年代來說並不低了，當然，和後世全自動光刻生產線沒得比。
按照一片邏輯電路晶片使用5mm*5mm矽片面積來粗略計算的話，一片130mm晶圓能生產出500枚晶片來。
別看5*5這個面積很小，實際上在10μm工藝下，它幾乎能生產類似74全系列的數字邏輯晶片了，大部分數字邏輯晶片最耗費矽片面積的部分，其實是它的線路引出的壓接點。
如果說CPU、單片機都還有那麼一點遙遠的話，那對於大部分常用數字邏輯電路來說，到了這個階段，制約它的就主要是晶片的設計速度有多快了，畢竟數字邏輯電路這個家族實在是有些龐大。
對於這個事情，高振東倒是早有安排。
穿著防護服，又在超淨室內，這讓高振東不太方便宣布樣機已經成功。
看著玻璃窗外焦急的全體光刻機課題組同志，不忍他們久等的高振東靈機一動，拿起紙筆，寫下了三個大字。
「成功了！」
高振東拿起這張紙，對著超淨室內和外面的所有同志打著轉展示了一圈。
如果說超淨室內的同志對於結果已有所預料而顯得鎮定一些的話，那窗外那批因為信息差而處於未知之中的同志，看見這三個字就歡呼雀躍起來。
「成了成了！」
「終於成功了！」
「這個東西很重要吧，你看高總工都那麼著緊。」
「那可不，我估計這個啊，至少又是一個科技獎。」
「沒想到我車了一輩子的鐵疙瘩，臨老來，還能搞科學了。」
「我也沒想到啊，叮叮咣咣了一輩子，到現在我都不相信這個東西裡面也有我的份兒。」
「你這就是心太小了，你沒聽上面說嘛，咱們有的是力量。」
「是是是，你心大，那特麼你手抖個啥？幾十年的老夥計了，誰還不知道誰啊。」
外面的同志們說著笑著，不知道是誰起的頭，慢慢的齊聲唱起了一首歌來。
「咱們工人有力量，嘿，咱們工人有力量……」
「……」
「改造得世界變呀麼變了樣，哎嘿！」
「……」
「為了求解放！哎~嘿！哎~嘿！」
「……」
歌聲中有男有女，有老有少，有拿鐵錘的，也有拿書本的，有的站在機器邊，有的身處電腦前……
簡潔明快，鏗鏘有力的歌聲在光刻機試製車間中響起，聲震四壁。
隨著最後一聲「嘿！」落下，所有的同志站在一起，看著高振東，熱烈鼓起掌來。
高振東滿臉喜色，等大家稍微安靜下來，他示意試驗人員關機收尾，走進隔間脫下防護服。
從超淨室中走出來後，高振東安排了一位同志去張羅吃飯的事情，規矩不能破，哪怕只能吃糠咽菜，也得聚一頓，更別說現在比吃糠咽菜可強多了。
然後他轉身對馬娟道：「馬娟，你繼續多做幾組試驗，看看穩定性怎麼樣。然後你和易師傅準備準備，這台設備接下來需要轉場，你們整個組除了做好轉場準備之外，還要做好準備，核心骨幹要到相關的兄弟廠去支援一段時間。」
接下來的事情，自然就是將設備遷移到1274廠去，在那裡，作為關鍵節點，直接融入到整套的集成電路工藝中。
在這個過程中，不論是製造、安裝、調試、使用的課題組骨幹成員，都得入駐1274廠，應對各種環境問題和突發狀況，一直要到光刻機在1274廠的同志們手上用熟練了，才能撤回來。
兩人點頭應是，高振東看向各位同志：「那啥，雖然大家都知道了，但我還是正式宣布一下吧，哈哈，GK-61接近式10μm光刻機，成功了！同志們辛苦了！現在先享受一下成功的喜悅吧，中午老規矩，老規矩，大家懂的。」
(本章完)